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15720490226電子芯片廢氣治理方案案例
電子廠廢氣包括二氧化硫,三甲胺,NOx,氮?dú)浠衔?,苯二甲酸二辛酯等?而產(chǎn)生這些廢氣的主要是產(chǎn)生于芯片或線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程中。
電子制造業(yè)排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
對電子行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)選型,嚴(yán)格按照或地方的大氣污染物治理達(dá)標(biāo)排放標(biāo)準(zhǔn),以及企業(yè)廢氣參數(shù)(廢氣成分、濃度和風(fēng)量數(shù)據(jù)等)設(shè)計(jì)廢氣處理方案。
針對電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用相應(yīng)末端治理技術(shù),主要還是活性炭吸附法。吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,吸附劑選擇性高,活性炭屬非極性吸附劑,對非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力,一般可凈化低濃度VOCs,凈化效率可達(dá)到90%.
電子廠廢氣治理工藝:
活性炭吸附濃縮催化燃燒:
通過80℃的熱空氣對吸附在活性炭表面的高濃度的有機(jī)廢氣進(jìn)行高溫脫附,把脫附出來的高濃度的有機(jī)廢氣送達(dá)催化燃燒氧化爐進(jìn)行285℃-400℃之間的高溫氧化形成二氧化碳和水達(dá)標(biāo)排放。
為什么選用該廢氣處理設(shè)備?
催化燃燒設(shè)備凈化效率95%以上,適用于大風(fēng)量,低濃度有機(jī)廢氣。加熱溫度280度,活性炭可重復(fù)利用,投入成本低,耗能低。
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